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多晶硅，是单质硅的一种形态。熔融的单质硅在过冷条件下凝固时，硅原子以金刚石晶格形态排列成许多晶核，如这些晶核长成晶面取向不同的晶粒，则这些晶粒结合起来，就结晶成多晶硅。近年多晶硅太阳能电池产业得到蓬勃发展，作为太阳能电池产业的上游多晶硅产业发展迅猛。多晶硅生产对环境造成的影响越来越受到关注。那么你知道硅气体怎么处理吗？多晶硅废气处理工艺有哪些吗？下面昆山鑫蓝环保为您做简单介绍：

多晶硅废气处理方法

硅烷作为一种提供硅组分的气体源，反应性和自燃性，有非常宽的自发着火范围和极强的燃烧能量，D性很大。

1.传统废气处理工艺

多晶硅生产过程中产生的废气、废液，其主要成分为SiCl4、SiHCl3、HC1、H2、N2及少量的金属氯化物。目前多晶硅厂几乎全都采用碱洗喷淋塔工艺，主要是因为其成本较少，工艺流程简单。工艺大致为：多晶硅生产中废气、废液直接进入碱液（NaOH或CaO溶液)喷淋塔，生成NaCl、CaCl2、SiO2（粉）、Na2SiO3等，然后送至后续的废水处理，进行进一步脱盐和固体废物处理；出喷淋塔的尾气（含H2、其他惰性气体）排空。

采用碱洗喷淋塔工艺有以下不足之处：

（1）安全性不高（2）大量氯离子排放（3）资源浪费

 废气焚烧工艺

2.废气焚烧处理工艺

蓄热焚烧工艺是环保性和安全性都比较高，可做到对废气、废液彻底有效的治理。其工艺流程为：蓄热焚烧一余热回收一二氧化硅回收一急冷塔一盐酸回收一喷淋塔一排放。

多晶硅生产装置中产生的废气、废液通过缓冲罐缓冲后，进入焚烧炉进行高温氧化反应，把氯硅烷彻底有效地分解，生成SiO2、HCl等，出焚烧炉的高温烟气含有大量的热量，进入余热锅炉进行降温并回收烟气中的余热，利用烟气的余热间接加热脱盐水，使其变成蒸汽回用；烟气经余热锅炉降温后进入过滤器进行气固分离，去除烟气中的SiO2粉尘；除尘后的烟气进入急冷塔，通过水的喷淋降低烟气温度，喷淋降温塔出来的盐酸经过石墨换热器与冷却水换热冷却后进入喷淋装置继续对烟气进行降温，除尘降温后的烟气进入盐酸回收装置回收盐酸，剩余烟气中少量的Cl2和HCl通过碱液淋洗塔淋洗，后经气水分离器将处理后的烟气通过引风机进入烟囱排放。

2．1焚烧工艺特点

(1)安全性：废气、废液采取焚烧处理的方式极大提高了处理系统的安全性。

(2)余热回收：焚烧炉出来的高温烟气，含有大量热能，通过锅炉把烟气中的大部分热量回收，回收烟气中的余热副产蒸汽，节约能源并产生经济效益。

(3)实现干法回收：通过旋风除尘器及布袋除尘器双重作用对烟气中的SiO2进行回收，回收烟气中SiO2作为副产品，可用作相关产业工业原料。

(4)盐酸回收及利用：对烟气中的HCl进行回收副产盐酸，并可将脱吸后高纯度的HCl气体回用于多晶硅生产过程中的TCS合成。HCl循环工艺可大大提高整个系统的氯循环效率，减少资源的浪费及对环境的污染。

以上就是《光伏行业多晶硅废气怎么处理？多晶硅废气处理设备及工艺流程》的全部内容。鑫蓝环保科技（昆山）有限公司，专注于大型工厂废气处理、粉尘处理，公司主营产品有：RTO焚烧设备、催化燃烧设备、活性炭吸附箱、防爆除尘器、布袋除尘器、滤筒除尘器、酸碱洗涤塔、静电除油设备等，公司获得多项实用新型证书。本公司生产设备和实施项目具有：节能环保、运行稳定、使用时间长、排放达标、项目投入少、处理效果好、设备噪声低、处理量大、耐摩擦、维修便捷等特点。

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